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結(jié)構(gòu)化晶圓表面厚膠噴涂工藝 楊 芳，武忙虎，王浩亮，翟鑫月，王 勛，李寶霞 (西安微電子技術(shù)研究所，西安 710000)

結(jié)構(gòu)化晶圓表面厚膠噴涂工藝 楊 芳，武忙虎，王浩亮，翟鑫月，王 勛，李寶霞 (西安微電子技術(shù)研究所，西安 710000)

摘要：采用超聲霧化噴涂技術(shù)，以AZ4620光刻膠為研究對象，以硅通孔(TSV)刻蝕后的硅片 為基材，在12英寸(1英寸=2. 54 cm)結(jié)構(gòu)化晶圓表面噴涂光刻膠形成薄膜。分別研究了稀釋···
2022-03-05285
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